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    壓電掃描臺|P15系列|新品發布

    更新時間: 2018-11-05

    P15壓電掃描臺是快速高精度的軸掃描和納米定位,具有非常高的直線度。中心通孔直徑48mm,非常適于透射光應用,如近場掃描或共焦顯微鏡和掩模定位。

     

    特點:

    行程范圍為370 x 370 x270μm

    可選配應變式閉環傳感器;

    無摩擦高精度撓性導向系統

    掃描平整度高;

    48 mm

     

    應用:掃描顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉、度量衡學、生物技術、微操作等。

     

    P15壓電掃描臺XY方向的運動行程為370μmZ向的運動行程為270μm它的內部采用有限元分析(FEA)優化的線切割鉸鏈結構。 FEA使設計具有盡可能高的剛度,并使線性和角度跳動小化。

     

    P15壓電掃描臺可選配閉環反饋傳感器,可提供更高的定位精度,非常適合高精度定位應用。

     

    閉環上升曲線

    與常規的閉環壓電掃描臺相比,P15系列在外觀上略有不同,它的臺體上具有兩個出線孔,分別為PZT供電引線及閉環信號反饋引線。并且,P15系列壓電掃描臺的移動面,較臺體平面高出一部分,更易辨別。

     

    P15壓電掃描臺技術參數

    型號P15.XYZ300S

    XY標稱行程范圍370(±185)µm/軸

    Z標稱行程范圍270µm

    傳感器類型SGS

    閉/開環分辨率8/5nm

    閉環線性度0.2%F.S.

    閉環重復定位精度0.15%F.S.

    運動方向剛度X0.1/Y0.1/Z0.1N/µm

    空載諧振頻率X120/Y150/Z250 Hz

    大承載0.5Kg

    XY靜電容量21μF

    Z靜電容量7.2μF

    材質

    重量900g

     

    應用案例

    納米光刻

    首先計算機將BMP圖轉化為灰度圖,然后再通過控制系統控制壓電掃描臺,帶動鍍膜鏡片在0-300μm范圍內對讀取的圖像信息進行優化,同時控制激光器及掃描臺,二者配合完成BMP圖的納米定位加工。

     

    AFM原子力顯微鏡

    閉環納米定位掃描臺作為原子力顯微鏡的一部分,可帶動樣品進行高速精密運動,可以實現X、Y、Z軸280μm的掃描,分辨率為亞納米級,響應時間可達亞毫秒。

     

    干涉

    壓電掃描臺的Z向的納米級的微運動,調整待測物的位置,從而改變對應的干涉條紋的寬度及位置,以達到更的表面測量。

     

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