XD602系列壓電納米定位臺是XYZ三維運動壓電平臺，它的行程范圍為200μm/軸，四個角位分別留有安裝固定孔位，易于機構安裝。負載安裝平臺留有10個M3固定位，適于不同結構負載的安裝。它的外觀較薄，非常易于系統集成。

特點

•XYZ三維運動   •行程200μm/軸   •超薄體積   •可選閉環版本獲取更高精度

開環與閉環版本可選

XD602壓電位移臺可以選擇開環或閉環版本，閉環版本內部配有高分辨率及快速響應的應變傳感器（SGS），配備在驅動機構的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該納米定位臺實現較高的線性度與重復度。

配套控制器

XD602系列壓電位移臺，可搭配芯明天E70系列壓電控制器使用，模擬與數字控制，體積小巧，高性能搭配。

技術參數：

型號：XD602

運動方向：X/Y/Z

標稱行程范圍（0 ~120 V）：160µm

行程范圍（0~150V）：200µm

傳感器類型：SGS

開環分辨率：8nm

閉環線性度：0.2%F.S.

閉環重復定位精度：0.1%F.S.

空載諧振頻率：270Hz

加載100g負載諧振頻率：110Hz

50%行程空載使用頻率：20Hz

臺體材料：鋁

工作溫度范圍：0~50 ℃

承載能力：300g