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    P16系列穩像壓電掃描臺

    更新時間: 2021-03-08

    P16系列壓電掃描臺為XY軸平移掃描臺,機構放大設計原理,中心具有通孔,該系列掃描臺有行程可105μm,開環、閉環可選。方形移動臺面,便于與外部機械結構安裝連接。

    特點

    •位移可達105μm

    •承載能力1.5kg

    •閉環重復定位精度高

    •開環、閉環可選

    •真空版本可選

     

    頻率負載曲線

     

    剛度大、諧振頻率高、負載能力大

    P16系列壓電掃描臺,采用機構放大設計原理,內置高性能壓電陶瓷,掃描臺分別可實現50μm 100μm105μm 的運動行程,一體式結構設計XY 軸運動無耦合,優異的結構可承載1.5kg 的負載,空載諧振頻率700Hz。P16.XY100 版本為中心對稱運動方式,需配套帶有一通道恒壓的三通道壓電控制器。

    P16二維壓電掃描臺中心通孔尺寸Ø20mm或Ø43mm,該系列壓電掃描臺以其小體積、大負載、高動態等特性廣泛應用于顯微成像等領域。

     

    應用實例

    P16.XY二維壓電掃描臺以其大承載、高頻率等特點,應用于光路調整實驗中,帶載鏡片XY軸精密運動。

     

    技術參數

    型號P16.XY100

    運動自由度X、Y

    行程范圍(0~120V):80μm或±40μm/軸

    行程范圍(0~150V):100μm/軸或±50μm/軸

    閉環傳感器SGS

    通孔尺寸Ø20mm

    /開環分辨率10/5nm

    閉環線性度1%F.S.

    閉環重復定位精度0.5%F.S.

    俯仰/偏航/滾動<25μrad

    /拉力30/30N

    運動方向剛度0.5N/μm

    空載諧振頻率600Hz

    /開環空載階躍時間10/1.6ms

    承載能力1.5kg

    靜電容量3.6μF/軸

    材質鋼、鋁

    重量220g

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