P60.Z250為一維Z向運動壓電納米定位臺，平臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化的結構設計。機構放大式驅動原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)Z向250μm位移。壓電定位臺具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可達納米量級，定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。平臺可選真空兼容版本，平臺中的部件均適合于真空應用，真空度可達1×10^(-5)mbar。

閉環(huán)版本定位精度高

P60.Z250可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本采用高精度傳感器對位置進行實時檢測反饋，配置芯明天閉環(huán)壓電控制器可實時對位移進行精密調整，實現(xiàn)納米級的精密定位控制及優(yōu)異線性運動和穩(wěn)定性。

產品特點

• 一維Z向運動

• 行程可達250μm

• 承載可達1kg

• 可選真空兼容版本

應用

• 計量/干涉/ 掃描

• 納米定位

• 光盤驅動測試

• 半導體技術

• 質量保證測試

• 微加工/精密控制

技術參數(shù)

型號：P60.Z250

運動自由度：Z

標稱行程范圍（0~120V）：200μm

行程范圍（0~150V）：250μm

傳感器類型：SGS

閉/開環(huán)分辨率：10/3nm

閉環(huán)線性度：0.4%F.S.

重復定位精度：0.1%F.S.

空載諧振頻率：260Hz

承載能力：1kg

靜電容量：21.6μF

工作溫度范圍：-20~80℃

材質：鋼、鋁

重量（不含線）： 0.4kg

真空度：1×10^(-5)mbar

外形尺寸（長×寬×高）：80×60×20mm

出線長：1.5m