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    產品名稱:芯明天直驅機構式壓電掃描臺

    產品型號:P77Z

    產品報價:

    產品特點:芯明天直驅機構式壓電掃描臺 P77壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺,壓電平臺中心為106mm大通光孔,壓電陶瓷直驅機構,內置高性能壓電陶瓷,可以實現Z 軸20μm的位移行程,無摩擦柔性導向機構具有超高的分辨率,閉環版本定位精度可達納米級,是光學移相器的選擇。

    更新日期:2025-02-23

    P77Z芯明天直驅機構式壓電掃描臺的詳細資料:

       芯明天直驅機構式壓電掃描臺P77系列壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺,壓電平臺中心為106mm大通光孔,壓電陶瓷直驅機構,內置高性能壓電陶瓷,可以實現Z 軸20μm的位移行程,無摩擦柔性導向機構具有超高的分辨率,閉環版本定位精度可達納米級,是光學移相器的選擇。

    芯明天直驅機構式壓電掃描臺P77壓電掃描臺典型應用

    • 顯微成像

    • 表面檢測

    • 閉環重復定位精度高

    • 干涉/計量

    • 精密定位

    • 移相器 •

     光學捕獲

    應用案例

    大孔徑、大承載、高諧振頻率

    P77系列壓電掃描臺采用優異的柔性鉸鏈導向機構設計, 利用有限元分析優化, 剛度可達8 N/ μm,空載諧振頻率 300Hz。

    閉環版本內置高精度傳感器,對位移實時監測反饋,可 實現納米級的重復定位精度及線性度。

    壓電掃描臺中心106mm的大通光孔,該產品已廣泛應用于激光平面干涉儀等設備。

    芯明天P77壓電移相器以其大通孔、納米級分辨率、高精度等特 點廣泛應用于現代干涉儀中,大大提高了干涉儀的測量精度。

    P77壓電掃描臺特性:

    Z軸運動

    • 大行程20μm

    • 大承載5kg

    • 通孔直徑:Ø106mm

    技術參數:

     

    型號

     

    尾綴S-閉環 尾綴K-開環

     

    P77.Z20S P77.Z20K

     

    單位

    運動自由度

    Z

     

    標稱行程范圍(0~120V)

    14

    μm±20%

    大行程范圍(-20~150V)

    20

    μm±20%

    傳感器類型

    SGS/-

     

    通孔尺寸

    Ø106

    mm

    閉/開環分辨率

    1/0.5

    nm

    閉環線性度

    0.2/-

    %F.S.

    閉環重復定位精度

    0.1/-

    %F.S.

    俯仰/偏航/滾動

    <10

    µrad

    推/拉力

    120/50

    N

    運動方向剛度

    8

    N/μm±20%

    空載諧振頻率

    300

    Hz±20%

    閉/開環空載階躍時間

    5/2.5

    ms±20%

     

    閉環空載 工作頻率

    10%行程

    60

     

    Hz±20%

    行程

    10

    大承載

    5

    kg

    靜電容量

    5.4

    μF±20%

    材質

     

    重量

    1600

    g±5%

     

     

     

     
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